Преимущества сухого травления с использованием импульсного источника питания?

Каковы преимущества режима пульса по сравнению с режимом непрерывной волны? Что такое режимы пульсированной и непрерывной волны?

Как показано на рисунке выше, первым является CW, непрерывная волна. Непрерывная волна (CW) относится к форме волны, которая является непрерывной и постоянной во времени, с постоянной мощностью и интенсивностью. Обычно он появляется в виде одночастотного сигнала с узким спектром и стабильным выходом. Средняя мощность CW равна пиковой мощности, а характеристики сигнала просты и просты в управлении. Основным преимуществом CW является его высокая стабильность, что делает его идеальным для приложений, где непрерывность сигнала имеет решающее значение. В то же время сигнал CW имеет низкий уровень шума, что облегчает точное измерение и анализ. Кроме того, конструкция системы CW относительно проста, а параметры управления, такие как мощность и частота, могут быть легко скорректированы. В режиме CW выходной сигнал является непрерывной формой волны без изменчивых импульсов.

0040-31980 Gas Box EC wxz

Второй - PW, импульсная сила. Пульсная волна - это форма волны, которая прерывается во времени и состоит из ряда сигналов с высокой интенсивностью в течение короткого периода времени. Имбочки имеют ограниченную продолжительность и повторяются через определенный период времени. Импульсная волна имеет характеристики мгновенной пиковой мощности, намного выше, чем средняя мощность, а выходной спектр широкий и содержит более частотные компоненты. Самым большим преимуществом импульсной волны является его мгновенная высокая пиковая мощность, которая может высвобождать чрезвычайно высокую энергию за короткий промежуток времени. Кроме того, из -за прерывистой вывода сигнала средняя мощность импульсной волны низкая, что эффективно снижает давление тепловой нагрузки оборудования. В результате он идеально подходит для приложений, которые требуют высокого временного разрешения или мгновенной высокой мощности. В режиме PW выходная мощность источника питания не является частью времени и части времени.

0040-09095 Gas Box, WCVD
Особенности импульсных источников питания?
1, интервальная работа может вовремя рассеивать тепло, так что реагенты могут иметь время для транспортировки на поверхность пластины.

2, выходная мощность может быть увеличена в очень большой степени, продолжительность чрезвычайно короткая, а мощность импульса, частота, время и т. Д. Может контролировать очень точно.
Преимущества использования режима пульса?
1, Устраните эффекты микроогрузки. В структурном травлении с высокими соотношениями сторон, таких как глубокие отверстия или глубокие канавки. Отверстия или слоты меньшего размера имеют меньшую скорость травления, чем отверстия или слоты большего размера. Если используется режим CW, эффект микроловой нагрузки может быть улучшен путем снижения давления и увеличения напряжения смещения, но способность улучшать ограничена, в то время как эффект микроловой нагрузки может быть значительно улучшен с помощью режима импульса.

2, уменьшает повреждение поверхности пластины. Если импульсы используются на предвзятости, время, необходимое для атаки плазмы, может быть уменьшено, что, в свою очередь, уменьшает повреждение поверхности.