Что такое реакция атомизации поликремниевой восстановительной печи

Что такоеRдействиеAтомизацияPолисиликонRобразованиеFурнас

Печь восстановления поликремния является основным оборудованием для производства поликремния, а реакция атомизации печи восстановления поликремния относится к реакции термического крекинга хлорсилана в печи восстановления из-за воздействия высокой температуры, в результате чего образуется тонкий порошок кремнезема, который образует туман в пространстве газовой фазы в печи, то есть так называемое явление атомизации. Если его не контролировать, эта атомизация может привести к образованию нерегулярных частиц или внутренних прослоек на поверхности стержней поликремния, что повлияет на качество продукции.

После возникновения явления распыления обычно происходят изменения параметров:

· Температура отработавших газов восстановительного процесса быстро повышается;

· Напряжение при понижении быстро падает;

· Мощность реакции восстановления также быстро уменьшается.

· Температура возвратной воды в топку повышается.

Существует много причин для распыления в печи восстановления поликремния, включая, помимо прочего, высокую температуру поверхности стержня поликремния в печи восстановления, недостаточный поток водорода сырья, недостаточный общий поток сырья или неправильное содержание дихлорида кремния. Меры, которые можно предпринять для контроля распыления, включают снижение температуры поверхности стержня, увеличение потока водорода, увеличение общего потока сырья или контроль содержания дихлордигидрогенсилана.

Недостаточная общая скорость потока материала или ненадлежащее содержание дихлордигидрогенсилана. Меры, которые можно предпринять для управления распылением, включают снижение температуры поверхности стержня, увеличение потока водорода, увеличение общего потока сырья или управление содержанием дихлордигидрогенсилана.

Кроме того, с углублением исследований оптимального управления восстановительной печью было обнаружено, что восстановительная печь может иметь эффект снижения энергопотребления при различных состояниях атомизации. Для достижения определенной степени работы граничной карты атомизации, которая может не только снизить энергопотребление, но и гарантировать качество продукции. Однако из-за отсутствия эффективных методов обнаружения степени атомизации существующие стратегии управления трудно достичь удовлетворительных результатов.

Для решения этой проблемы были предложены система и метод определения степени атомизации реакции восстановления поликремния, включающие устройство обнаружения отходящих газов и центральный контроллер. Обнаруживая изменение содержания кремнеземного дыма в отходящих газах, система в цифровом виде контролирует степень атомизации в печи в режиме реального времени, а оператор может вовремя корректировать параметры восстановительной печи в соответствии с результатами обнаружения для достижения оптимального управления.

Кроме того, предложен метод обнаружения распыления в печи восстановления поликремния, который измеряет значение концентрации пыли путем установки детектора пыли на выпускном трубопроводе отработавших газов и вычисляет диапазон и дисперсию для оценки степени распыления в печи, чтобы направлять оператора для внесения корректировок. Применение этих технологий помогает улучшить качество управления восстановительной печью, снизить сложность эксплуатации и обеспечить качество поликремниевой продукции.