Система RF травильного оборудования

Система RF обычно состоит из генератора RF и RF match, является одной из основных систем оборудования для травления, текущий рынок в этой области в основном занимают компании United States Youyi Semiconductor (AE), Wanji Instrument (MKS) и Comed Ed. Источник питания RF представляет собой источник питания, который может генерировать фиксированную частоту синусоидального напряжения и имеет высокую мощность. После того, как травильный газ (в основном CF4) проходит в реакционную камеру через газовую систему, он ионизируется высокочастотным электрическим полем (обычно 13,56 МГц), генерируемым источником питания RF, что приводит к тлеющему разряду, который завершает переход от молекул газа к ионам, образует плазму и улучшает реактивность газа. Источник питания RF напрямую связан с концентрацией плазмы, однородностью и стабильностью в реакционной камере. В большинстве устройств для травления источник питания RF используется совместно с источником питания DC для управления плотностью и энергией ионов соответственно. Из-за ускоряющего эффекта электрического поля ионы обычно травят пластины как в физической, так и в химической форме. Кроме того, радиочастотные системы являются важной частью оборудования для осаждения тонких пленок, машин для дегуммирования, ионных имплантеров и оборудования для очистки.

Распространенной комбинацией конфигураций систем RF для оборудования для травления является источник питания RF с фиксированной частотой и регулируемый согласующий элемент. Во время процесса травления согласующий элемент будет автономно настраивать внутренний регулируемый конденсатор для согласования выходного сопротивления самого источника питания и сопротивления реактивной нагрузки для достижения полной выходной мощности источника питания RF. В идеальном состоянии согласования все сигналы RF могут передаваться в положение нагрузки, а отраженная мощность их энергии уменьшается. Когда сопротивление нагрузки и сопротивление выхода источника питания радиосигнала не находятся в состоянии согласования, небольшая часть входного сигнала будет отражаться обратно в источник RF на конце нагрузки, а выходная мощность источника питания RF не будет использоваться полностью, что снижает эффективность реакции травления.