Факторы, влияющие на стресс пленки в PECVD

Какие факторы влияют на стресс пленок PECVD? Каковы преимущества и недостатки каждого из них?

Принимая sih 4+ nh3/n2, чтобы сформировать тонкие пленки Sinx, и sih 4+ nh 3+ no2, чтобы создать тонкие пленки Sion, я суммировал несколько моментов здесь, конечно, не ограничен. Эти факторы: температура, мощность/давление, состав газа, частота и содержание разбавленного газа HE.

Температура (пленка sinx)

Чем выше температура, тем выше растягивающее напряжение.

0010-37264 COLDOWN CAMBER Multi Slot Ass'y

Сила/давление (пленка Sinx)

Как показано на рисунке выше, при более низких давлениях (400 мторр), напряжения при всех условиях мощности смещены в сторону напряжения сжатия; Когда давление увеличивается, напряжение сжимания постепенно изменяется на растягивающее напряжение; При более высоких давлениях (600-700 MTORR) напряжения имеют тенденцию к растягиванию. Положительное и отрицательное давление на диаграмме представляют собой растягивающие и растягивающие напряжения, соответственно. Типы и пропорции газов (пленки Sion)

Как показано на рисунке выше, по мере увеличения соотношения N2O/NH3 пленка постепенно изменяется от растягивающего напряжения к напряжению сжатия. Низкочастотная модуляция (пленки SINX)

0040-22451 Пьедестал 150 мм сокращается, 3 -точечный контакт

Как показано на рисунке выше, напряжение пленки постепенно изменяется от растягивающего напряжения к напряжению сжатия, поскольку увеличение доля времени, затрачиваемого на выход источника питания на низких частотах. Содержание разбавленного газа он

Как показано на рисунке выше, когда доля разбавленного газа он постепенно увеличивается, напряжение пленки постепенно изменяется от растягивающего напряжения к напряжению сжатия. Следовательно, корректировка пленочного процесса часто должна быть скорректирована к оптимальному значению, и любые параметры процесса, которые слишком большие или слишком маленькие, вызывают несовершенное качество пленки.

 

КОНЕЦ